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GAS-100在线四极质谱残余气体分析系统

在线残余气体四极质谱分析仪

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<p><span style="font-size: 14px;"><span style="font-family: 宋体;">在线四极质谱残余气体分析系统，在线原位分析监测真空环境及工艺气体</span>, <span style="font-family: 宋体;">定性或定量分析真空室内的气体分压强</span>, <span style="font-family: 宋体;">优化工艺过程参数</span>,<span style="font-family: 宋体;">可使用多种示漏气体对真空系统检漏</span>. <span style="font-family: 宋体;">适用于大气取样的气体分析。</span></span></p><p><br/></p>
RGA系列残余气体分析仪

在线残余气体四极质谱分析仪

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<p><span style="COLOR: rgb(0,0,0); FONT-SIZE: 14px"></span></p><p><span style="font-size: 14px;">100，200和300amu</span></p><p><span style="font-size: 14px;">优于1amu的分辨率</span></p><p><span style="font-size: 14px;">5*10e-14 Torr探测极限 </span></p><p><span style="font-size: 14px;">含四极探头，电子控制单元（ECU）</span></p><p><span style="font-size: 14px;">实时window视窗软件包，用于数据采集和分析，以及探针控制</span></p><p><span style="font-size: 14px;">RS232接口</span></p><p></p><p><br/></p>

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