深圳市万德泉科技有限公司

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SQM-160 薄膜沉积监控器

薄膜沉积监测仪

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SQM-160 薄膜沉积监控器SQM-160 使用成熟的 INFICON 石英晶体传感器技术在薄膜沉积过程中测量速率和厚度。两个传感器输入为标准输入，另外四个传感器输入为可选输入。两个记录器输出提供模拟速度和厚度信号。 传感器输入可分配给不同的材料，在大型系统中平均分配以实现精确的沉积控制，或者配置为双传感器。速率采样模式可在高速率过程中屏蔽传感器，从而延长传感器的使用寿命。速率显示为 0.1Å/s 或 0.01Å/s，用户可自行选择。此外，还可以选择频率或质量显示。凭借四个继电器输入，SQM-160 可控制来源或传感器屏蔽、信号时间和厚度设定点以及信号晶体失效。数字输入允许外部信号启动/停止和归零读数。
STM-2XM 双通道速率/厚度监测仪

薄膜沉积监测仪

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多个应用的简单操作 STM-2XM 是一款双通道速率/厚度监测仪，它将高精度与灵活编程相结合，易于操作，价格实惠。 STM-2XM 配有五种操作模式，可适应从简单到复杂的各种过程。例如，使用简单模式仅监测单一传感器最简单的过程，或使用合金模式进行共沉积监测。独立模式可将 STM-2XM 用作两个完全独立的监测仪。 两个传感器输入可以使用两个单石英晶体传感器或一个双石英晶体传感器。每秒进行 10 次测量，从而实现每次测量 0.037 Å 的分辨率（密度为 1）。 功能丰富 STM-2XM 有八个可编程的数字输入、八个可编程的数字输出以及四个模拟输出，允许通常保留用于更昂贵仪器的集成水平。 可编程的功能包括闸门延迟、时间/功率监测和速率采样。使用所有这些功能可实现最精确的读数和最长的晶体使用寿命。 通过简单的前面板界面或通过随附的 LabVIEW® 软件，运行并监测 STM-2XM。这一简单的软件功能齐全并且易于使用。 易于使用 STM-2XM 配备了高对比度的 LCD 显示屏和直观的菜单系统。整个菜单内均可找到屏幕提示，用于简单的引导式编程和操作。易于阅读的 LCD 可显示累积的质量或厚度
STM-2 USB 薄膜速率/厚度监测仪

薄膜沉积监测仪

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 尺寸小巧，价格低廉，性能强大 STM-2 将 USB 连接的简单与精密测量引擎的精度相结合，在一个结构紧凑、价格便宜的封装内实现所有功能。 STM-2 小巧、简单，方便安装和操作。 出色的性能 STM-2 是行业内最精确的 USB 供电薄膜监测仪。 每秒进行十次测量， 从而实现每次测量 0.037 Å 的分辨率（密度为 1）。 轻松灵活安装 STM-2 附带了将 QCM 传感器/馈入件连接到 Windows® PC 所需的一切附件。只需将随附的 BNC 电缆从馈入件连接到 STM-2，然后使用标准微型 USB 电缆（随附）将 STM-2 连接到您的 PC 即可。无需外部振荡器或电源。 STM-2 配备内部振荡器，当 STM-2 距离石英晶体在 1 米（40 英寸）以内时，可采用这种简单 并且具有成本效益的安装方式。而在 STM-2 必须远离馈入件的应用中，可采用标准 INFICON 振荡器套件。 STM-2 软件 STM-2 附带了 LabVIEW® 软件，该软件支持简单的运行和数据记录。它还附带了 Windows 软件，用于最多八个 STM-2 的同时运行和数据记录（每个 STM-2 需要一个供电的 USB 端口）。

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