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首页 >> 产品展示 >> inficon薄膜沉积控制产品（晶控仪） >> 石英晶体探头和馈入件

前载式单探头

石英晶体探头和馈入件

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INFICON 前装式单晶体传感器拥有经实践检验的可靠性和耐用性，提供超越当前市场上的任何传感器头的最佳热稳定性。前装式设计允许在侧面插入空间不足的应用中轻松插入晶体支架。经机械装配而成，而不是焊接在一起，因此，您能够在现场方便地更换其部件（如有必要）。传感器可单独订购，或以传感器/馈入件组合的形式订购，该组合可焊接在一起，或通过压缩接头装配在一起。
前载式双探头

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INFICON 前装式双晶体传感器拥有经实践检验的可靠性和耐用性，提供超越当前市场上的任何传感器头的最佳热稳定性。双传感器提供备用晶体，对于在真空室中需要第二晶体的关键过程至关重要。 前装式设计允许在侧面插入空间不足的应用中轻松插入晶体支架。经机械装配而成，而不是焊接在一起，因此，您能够在现场方便地更换其部件（如有必要）。传感器可单独订购，或以传感器/馈入件组合的形式订购，该组合可焊接在一起，或通过压缩接头装配在一起。
抽屉式单探头

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炫酷抽屉单传感器允许晶体从侧面安装到传感器中，为没有足够的空间从前面安装晶体的系统提供了便利。炫酷抽屉单传感器采用炫酷抽屉晶体支架，该晶体支架通过水冷式外壳进行热屏蔽，可确保卓越的晶体性能。
抽屉式双探头

石英晶体探头和馈入件

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炫酷抽屉双传感器设计用于在真空室中需要第二晶体的关键过程。拥有水冷浇铸不锈钢传感器壳体、两个炫酷抽屉晶体支架以及一个气动闸门，可以为坚固耐用的传感器头提供超高的备份晶体可靠性。腔室中没有同轴电缆，可以进行更纯净、更可靠的真空系统安装。
ALD 探头

石英晶体探头和馈入件

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满足 ALD 应用的最佳精度、运行时间以及极低的维护要求 INFICON ALD 探头为原子状态膜层沉积 (ALD) 提供了具石英晶体微天平 (QCM) 测量水准的可靠性、精度和重复性。ALD 探头可承受高达 450 ℃ 的高温，其设计允许探头在严苛的 ALD 应用环境中运行。裸露的晶体电极完全接地，以有效地消除任何潜在的电气干扰问题。 专为 ALD 设计 INFICON ALD 探头的独特性之一便是利用惰性气体（通常为氮气）吹扫晶片背面和探头腔体。这可防止反应室的气体进入探头，并确保晶片背面和电气触点无沉积材料。这种技术可在不适合使用标准 QCM 的系统中实现现场测量。 馈入件和馈入件连接 INFICON ALD 探头可采用自定义焊接长度，也可采用长度可调的压缩接头而无需铜焊或焊接。所有配置都使用 2 ¾ 英寸(CF40) ConFlat® 法兰馈入件。 高温晶片实现更准确的测量 与 INFICON 的新型高温石英晶片结合使用时，INFICON ALD 探头可在高温应用中达到最佳测量精度和较低的频率噪声。这些高温晶片针对 120、240 和 285 ℃ 应用进行了优化，因此您总能获得适合自己应用的正确晶片。也可提供针对其他温度优化过的晶片。请根据自己的需求联系 INFICON。
UHV 可烘烤探头

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INFICON UHV 可烘烤晶体传感器拥有经实践检验的可靠性和耐用性，提供超越当前市场上的任何传感器头的最佳热稳定性。可烘烤传感器由 304 号不锈钢、钼、铬镍铁合金、镍和氧化铝材料制成，设计为可承受连续烘烤温度高达 450° C（仅适用于烘烤，实际沉积监控需要水流）。前装式设计允许在侧面插入空间不足的应用中轻松插入晶体支架。
溅射型探头

石英晶体探头和馈入件

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INFICON 溅射传感器专为各种溅射过程而设计。镀金铍铜传感器体和冷却管在溅射环境中可实现最佳冷却效果。传感器头内置的磁铁可抑制因外部磁场偏转溅射系统中的高能自由电子而引起的过热。后装式晶体支架设计便于更换晶体，更换时无需从系统中拆卸传感器头。
Crystal 12 探头

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自动晶体转换功能最大限度延长生产时间 INFICON Crystal 12 传感器与INFICON IC6 薄膜沉积控制器结合使用时，可自动更换其晶体，而无需中断过程。晶体不稳定或失效时，IC6 会立即向 Crystal 12传感器旋转传送带发送信号，要求其立即将新晶体旋转到位，从而实现持续沉积速率监控。为进一步最小化停工时间，可以将晶体预先加载到另一个可选旋转传送带上，这样，可以直接轻松快速地更换装有失效晶体的旋转传送带，从而最大限度缩短系统打开的时间。
RSH-600 旋转式探头

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适用于最苛刻应用的卓越晶体性能 RSH-600 旋转式传感器头设计用于需要采用非常厚的薄膜和多种不同材料的苛刻应用。RSH-600 将六颗晶体固定在热屏蔽、水冷却的壳体中，确保在温度高达 300°C 的应用环境下获得卓越的晶体性能。晶体固定在一个易于拆卸的 Teflon® 和不锈钢晶体支架中。
QCM 传感器馈入件

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INFICON 提供各种石英晶体监测仪 (QCM) 传感器馈入件，以适应多种 QCM 传感器和腔室配置。CF40 (2.75 in. ConFlat®) 和 2.54 cm (1 in.) 螺栓式馈入件提供电气连接、水冷却和空气管的各种组合。INFICON 馈入件还配备了 Ultra-Torr O 形密封圈压缩接头，用于轻松安装和传感器长度调整。根据要求可提供其他馈入件款式（KF40 等），因此请联系 INFICON 提出您的馈入件需求。 除非另行说明，否则典型的馈入件电气连接包含一个同轴 BNC 连接器（大气端）和一个 Microdot®连接器（真空端）。此款式的电气连接旨在与真空电缆传感器（例如 INFICON <a style="font-size: 14px; text-decoration: underline;" href="http://products.inficon.com/en-us/nav-products/Product/Detail/FrontLoadSingleSensor?path=Products%2FThinFilmDeposition%2F">前装式单传感器</a>、<a style="font-size: 14px; text-decoration: underline;" href="http://products.inficon.com/en-us/nav-products/Product/Detail/FrontLoadDualSensor?path=Products%2FThinFilmDeposition%2F">前装式双传感器</a>、<a style="font-size: 14px; text-decoration: underline;" href="http://products.inficon.com/en-us/nav-products/Product/Detail/LowProfileSingleSensors?path=Products%2FThinFilmDeposition">薄型单传感器</a>、精选<a style="font-size: 14px; text-decoration: underline;" href="http://products.inficon.com/en-us/nav-products/Product/Detail/LowProfileDualSensor?path=Products%2FThinFilmDeposition">薄型双传感器</a>、<a style="font-size: 14px; text-decoration: underline;" href="http://products.inficon.com/en-us/nav-products/Product/Detail/SputteringSensor?path=Products%2FThinFilmDeposition%2F">溅射传感器</a>、<a style="font-size: 14px; text-decoration: underline;" href="http://products.inficon.com/en-us/nav-products/Product/Detail/CrystalSix?path=Products%2FThinFilmDeposition%2F">CrystalSix</a> 和 <a style="font-size: 14px; text-decoration: underline;" href="http://products.inficon.com/en-us/nav-products/Product/Detail/Crystal12?path=Products%2FThinFilmDeposition%2F">Crystal 12 </a>传感器）配合使用。 备注：馈入件水管和空气管为 4.8 mm (3/16 in.) 外径。 备注：薄型双传感器使用 4.8 mm (3/16 in.) 外径水冷管。 它们与配备馈入件的 Ultra-Torr 不兼容，需要管接头才能焊接到具有 4.8 mm (3/16 in.) 外径水冷管的标准馈入件。 下表是基于传感器类型的馈入件要求和零件号的快速参考。
CrystalSix 探头

石英晶体探头和馈入件

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INFICON CrystalSix 晶体对于要求连续监控速率的长时间过程非常重要。CrystalSix 传感器在一个传感器头中含有 6 颗石英监控器晶体，为 OLED、MBE、太阳能、长时间光学镀膜或其他需要长时间腔室排气的过程提供安全性。与 INFICON 薄膜沉积监控器结合使用时，CrystalSix 在当前晶体失效或不稳定的情况下，会自动将新的晶体转动到适当的位置。晶体更换是自动完成的，不会中断您的过程，支持持续监控沉积速率。 晶体索引通过气动机制完成。相比同类装置使用的昂贵的真空发热电机，这种气动马达可提供更好的晶体热稳定性。一个 8 英寸的水冷却管保持传感器头的热稳定性，并提供晶体位置的灵活性。 与某些 INFICON 薄膜控制器结合使用时，传感器提供位置反馈，因此可针对特定的材料安排特定的位置。

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