销售服务热线：
13077864087
主营产品:
搜索
设为首页|加入收藏
 
 
产品展示 PRODUCTS LIST
联系我们 CONTACT US

公司名称：深圳市万德泉科技有限公司

地址：深圳市罗湖区太白路布心村111号布心大厦9D

联系人：简俊勇（手机：13077864087）

QQ：347381235


首页 >> inficon薄膜沉积控制产品（晶控仪） >> 薄膜沉积控制仪 >> IC6 薄膜沉积控制器
IC6 薄膜沉积控制器

IC6 薄膜沉积控制器

不变的是卓越的表现


功能丰富的 IC6 提供提供最佳测量精度

IC6 薄膜沉积控制器在 INFICON 薄膜沉积控制器可靠成熟的性能基础上，增添了更多独特的功能，可帮助您实现沉积过程的最大价值。IC6 使用我们的 ModeLock 频率测量系统，提供稳定、高分辨率的速率和厚度测量，速率分辨率可达每 1/10 秒 0.00433 Å/s，是行业中的佼佼者。IC6 具有其他石英晶体控制器无法比拟的性能、品质和功能，赋予您的过程卓越的可重复性。

 




0.00
0.00
型号：
常用货号（P/N）：
品牌：
产地：
  

不变的是卓越的表现


功能丰富的 IC6 提供提供最佳测量精度

IC6 薄膜沉积控制器在 INFICON 薄膜沉积控制器可靠成熟的性能基础上，增添了更多独特的功能，可帮助您实现沉积过程的最大价值。IC6 使用我们的 ModeLock 频率测量系统，提供稳定、高分辨率的速率和厚度测量，速率分辨率可达每 1/10 秒 0.00433 Å/s，是行业中的佼佼者。IC6 具有其他石英晶体控制器无法比拟的性能、品质和功能，赋予您的过程卓越的可重复性。

 





功能
  • INFICON ModeLock 技术确保获得最高、最稳定的速率和厚度测量分辨率，即使在速率极低的情况下
  • Auto Z 技术通过自动测定沉积材料的 Z 比值，可提高厚度测量的精度
  • 支持最多六个来源同时共镀膜
  • 彩色 TFT LCD 显示屏使用户很容易看到过程的进展状况
  • 100ms 样本速率下频率范围为 +/-0.0035 Hz
  • USB 数据存储功能可存储屏幕截图、配方存储和数据记录
  • 强大的 I/O 凭借其灵活性可融入简单或复杂的系统（使用可扩展输入 (28) 和输出 (24 继电器，14 TTL 输出)，并充分利用逻辑功能（100 个逻辑语句）
  • 6 个标准 DAC 输出和另外 6 个可选输出用于来源控制、速率或厚度监控
  • 可容纳最多 50 个过程，每个过程 200 层，这些过程关联到一起，总共可容纳 10,000 层。
  • 多路传感器可平均分配为 8 个传感器
  • 4 米 XIU 选件能够在大型系统中使用较长的真空传感器电缆
  • 可选以太网通信
  • 符合 RoHS 标准

典型应用

  • 高端光学镀膜

零件号


规格



测量性能  
频率分辨率 ±0.0035 Hz @ 6 MHz
厚度和速率分辨率/测量 (1) ±0.00433 Å
测量频率范围 6.0 to 4.5 MHz (fixed)
厚度精度 (2) 0.5%
测量周期 0.10 s
多个测量值平均 0.1, 0.4, 1.0, 4.0, 10.0, 20.0, and 30.0 sec. averaging allowed
设计功能  
Auto Z yes
自动色调 yes
共沉积 yes (up to 6 sources)
过程配方和数据管理  
材料计划 32
过程层（每个过程） 200
过程 50 (processes can be linked together)
USB 存储器 yes
数据记录 yes
硬件功能  
传感器 (3)  
单 8
双 / CrystalTwo® 4 / 8 (with CrystalTwo® Switch)
CrystalSix® 8
Crystal 12® 8
通用 8
来源控制  
来源数量 (4) up to 6
来源控制电压 0 to +/-10 V, adjustable
输出分辨率 15 bits over full range (0 to 10V)
坩埚位置 64
输入 / 输出  
输入 14 standard, up to 28 optional; TTL/CMOS logic compatible or closure to ground
输出 8 standard, up to 24 optional programmable SPST relays rated at 30 V(dc) or 30 V(ac) RMS or 42 V peak @ 2.5 amps; 14 optional TTL outputs
记录器输出 (4) 0 to +10 V, adjustable
逻辑语句 100 fully programmable; up to 5 actions, 5 events per statement
通信  
标准 RS232
可选 Ethernet
显示器  
厚度分辨率

1 Å for 0 to 9.999 kÅ

10 Å for 10.00 to 99.99 kÅ

100 Å for 100.0 to 999.9 kÅ

1 kÅ for 1000 to 9999 kÅ

速率分辨率

0.001 for 0 to 9.999 Å/s if rate filter time setting is 10 seconds or greater

0.01 for 0 to 99.99 Å/s

0.1 for 100 to 999.9 Å/s

操作  
电源要求

100 – 230 V (ac) +/- 15%

50 / 60 Hz +/- 3 Hz

工作温度 0 to 50 C (32 to 122 F)
尺寸，不包括安装件（高 x 宽 x 深） 5.25” x 19” x 13” (133mm x 483mm x 330 mm)
重量 23 lbs (10.5 kg)

(1) 工具/密度 = 100/1，基本频率 = 6 MHz

(2) 因流程而异；数值反映典型精确度

(3) 每种型号的最大配置

(4) IC6 有 6 个 DAC 输出标准，另有 6 种标准可选择性地添加。这 12 个标准中的任何一个都可作为源控制电压或记录器输出进行配置，但可同时控制的源的数量为 6

 

产品目录 PRODUCTS LIST