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前载式双探头

前载式双探头

INFICON
前装式双晶体传感器拥有经实践检验的可靠性和耐用性，提供超越当前市场上的任何传感器头的最佳热稳定性。双传感器提供备用晶体，对于在真空室中需要第二晶体的关键过程至关重要。

前装式设计允许在侧面插入空间不足的应用中轻松插入晶体支架。经机械装配而成，而不是焊接在一起，因此，您能够在现场方便地更换其部件（如有必要）。传感器可单独订购，或以传感器/馈入件组合的形式订购，该组合可焊接在一起，或通过压缩接头装配在一起。


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常用货号（P/N）：
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INFICON
前装式双晶体传感器拥有经实践检验的可靠性和耐用性，提供超越当前市场上的任何传感器头的最佳热稳定性。双传感器提供备用晶体，对于在真空室中需要第二晶体的关键过程至关重要。

前装式设计允许在侧面插入空间不足的应用中轻松插入晶体支架。经机械装配而成，而不是焊接在一起，因此，您能够在现场方便地更换其部件（如有必要）。传感器可单独订购，或以传感器/馈入件组合的形式订购，该组合可焊接在一起，或通过压缩接头装配在一起。


功能

  • 双晶体
  • 晶体闸
  • 前装式晶体支架
  • 易于安装
  • 随附：2.54 cm (1 in.) 螺栓馈入件和 CF40 馈入件
  • 在配有压缩接头时可调长度
  • 在配有压缩接头或焊接到馈入件时无需铜焊
  • 焊接为客户指定长度的传感器/馈入件组合

零件号



规格
类型 Front Load Dual Sensor
无水时的最高烘烤温度 130° C
最小水流时的最高工作等温环境温度 400 ° C
尺寸（无闸门的最大外壳） 1.54 in. x 3.23 in. x 1.95 in. (39.12 mm x 82.04 mm x 49.54 mm)
水管和同轴长度，“E”传感器 Standard 30 in. (762 mm)
晶体交换 Front-loading, self-contained package for ease of exchange. Shutter flips up to ease access to the holders.
安装 Two #4-40 tapped holes on the back of the sensor body
安装要求  
馈入件

Qty. (1) 2¾ in. (69.85 mm) ConFlat® with 2 Microdot®, 2 pass water and air, or

Qty. (1) 1 in. (25.4 mm) bolt with 2 Microdot, 2 pass water and air.

其他

1) Valve assembly for air—IPN 750-420-G1

2) Two oscillators or one oscillator and 779-220-G1 CrystalTwo Switch designed to interface with the deposition controller.

3) For automatic operation, the deposition process controller must be designed for the implementation of this feature.

实用工具

1) Minimum water flow 150-200 cc/min, 30°C max (Do not allow to freeze.)

2) Air, 80 PSIG (5.5 bar) [552 kPa] very low volume, DO NOT EXCEED 110 PSIG (7.6 bar) [760 kPa]

水质 Coolant should not contain chlorides as stress corrosion cracking may occur. Extremely dirty water may result in loss of cooling capacity.
材料  
主体和支架 304 Type stainless steel
弹簧 Au plated Be-Cu
水管 S-304, 0.125 in. (3.175 mm) OD x 0.015 in. (0.381 mm) Wall thickness seamless stainless steel tubing
连接器 (Microdot) Stainless steel, Teflon® and glass insulated
绝缘体 >99% Al2O3
电线 Teflon insulated copper
其他机械部件 304 or 18-8 stainless steel
铜焊 Vacuum process high temperature Ni-Cr alloy
晶体 0.550 in. (13.97 mm) diameter
1 in. 螺栓和 Ultra-Torr（压缩接头）端接的馈入件规格：  
材料 304 stainless steel, Teflon, ceramic, beryllium nickel, VITON®
温度 Operational environment to 300ºC with water cooling or 165° C without
安装 1.015 in. ±0.010 in. diameter aperture
CF 40 (2 3/4 in. ConFlat) 焊接式端接馈入件规格：  
材料 304 stainless steel, Teflon, ceramic, beryllium nickel
温度 Operational environment to 450° C with water cooling or 165° C without
安装 Mates with 2 ¾ in. ConFlat type flanges with 1.375 in. I.D. min.
 

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