Transpector MPS 残余气体分析仪

气体分析标准

为一般真空应用带来卓越性能和非凡价值
随着制造技术的进步和质量标准的变更，了解相关过程和保持产品质量比以往任何时候都显得更为重要。Transpector
MPS 能够通过过程条件监控、污染检测和泄露检查，帮助您优化过程。Transpector MPS 为客户提供了 Transpector 品牌可靠的、价值非凡的
RGA 性能。

Transpector MPS
提供 100 amu 和 200 amu 型号，使您能够灵活地执行一般泄露检测、真空诊断和碳氢化合物分析等各种功能。此多功能性使 Transpector MPS
成为真空炉、热处理和真空涂层应用的理想选择。

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Transpector MPS 残余气体分析仪

气体分析标准

为一般真空应用带来卓越性能和非凡价值
随着制造技术的进步和质量标准的变更，了解相关过程和保持产品质量比以往任何时候都显得更为重要。Transpector
MPS 能够通过过程条件监控、污染检测和泄露检查，帮助您优化过程。Transpector MPS 为客户提供了 Transpector 品牌可靠的、价值非凡的
RGA 性能。

Transpector MPS
提供 100 amu 和 200 amu 型号，使您能够灵活地执行一般泄露检测、真空诊断和碳氢化合物分析等各种功能。此多功能性使 Transpector MPS
成为真空炉、热处理和真空涂层应用的理想选择。

功能

双丝极
可现场更换电子倍增器
可现场更换阳极、阴极和反射极丝极组件
可调换传感器和电子元件
TCP/IP 以太网连接
较短的传感器可降低安装占地面积
九个数量级的动态量程
模拟扫描和所选峰值的 3 ms 最高每点数据率
<1.5E-14 Torr 的 MDPP
传感器在洁净室环境中装配、测试并进行双层包装
符合 RoHS 标准

规格

类型	MPS100F	MPS100M	MPS200F	MPS200M
传感器长度	14.3 cm	19.3 cm	14.3 cm	19.3 cm
质量范围	100 amu	100 amu	200 amu	200 amu
检测器类型	FC	EM	FC	EM
灵敏度 (FC)	3E-4 amps/Torr	3E-4 amps/Torr	3E-4 amps/Torr	3E-4 amps/Torr
灵敏度 (EM)	NA	500 amps/Torr	NA	500 amps/Torr
最小可检测分压	2.6E-12 Torr	1.5E-14 Torr	2.6E-12 Torr	1.5E-14 Torr
最高传感器工作温度(FC)	200 °C	NA	200 °C	NA
最高传感器工作温度(EM)	NA	150 °C	NA	150 °C
丝极类型选件	Dual Y2O3/Ir filaments	Dual Y2O3/Ir filaments	Dual Y2O3/Ir filaments	Dual Y2O3/Ir filaments
分辨率 (1)	<1 amu Wide	<1 amu Wide	<1 amu Wide	<1 amu Wide
温度系数 (2)	<1% per °C	<1% per °C	<1% per °C	<1% per °C
最高每点数据率	3 ms	3 ms	3 ms	3 ms
零冲击（位于质量 2）	<100 ppm	<100 ppm	<100 ppm	<100 ppm
最大工作压力	5E-4 Torr	5E-4 Torr	5E-4 Torr	5E-4 Torr
最高烘烤温度	300 °C	300 °C	300 °C	300 °C
功率输入	20-30 VDC	20-30 VDC	20-30 VDC	20-30 VDC

(1) 位于峰值高度的 10%

(2) 时长 8 小时，半小时预热时间；仅适用于 FC 模式

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