功能

• 基于四极的气体分析系统可监控复杂的过程。
• 支持 24/7 全天候监控，可最大限度地提高产量和吞吐量，从而大幅降低成本。
• 小巧灵活、经济实惠，适合安装到任何高压真空室。
• HexBlock™ 采样系统提高性能。
• 内置 CDG，支持过程压力监控和真空联锁。
• 可选校准基准（用于调节）和气体基准。
• 长寿命封闭式离子源可检测亚 ppm 量级的污染，同时耐最强的腐蚀性和活性气体。
• 轻便，易携带。