公司名称：深圳市万德泉科技有限公司
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安捷伦SH-110涡旋式干泵是业内领先的干式密封涡旋泵，可以方便地组装到原始设备制造商 (OEM) 系统中。这种单级泵体积小巧，抽速 110 升/分（频率 60 Hz），极限压力 50 mtorr (0.07 mbar)，是许多最终用户应用的理想选择。
- 低温运行
- ¼-马力电机，功耗低
- 内置排气阀，噪音水平低
- 活动排气口为空间有限场合提供更大灵活性
- 高压下抽速高（110 升/分），可快速降压
- 轻便，带方便搬运的手柄
- 内置故障保险隔离阀为真空系统提供保护
- 通用的 100-230 VAC 电源方便在全世界范围内安装
技术指标
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峰值抽速 (60 Hz) |
110 L/m，6.6 m³/h，4.0 cfm |
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峰值抽速 (50 Hz) |
90 L/m，5.4 m³/h，3.3 cfm |
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极限真空 |
5.0 × 10-2 torr (6.6 × 10-2 mbar) |
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最大进气口压力 |
1 atm (0 psig) |
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最大出气口压力 |
1.5 atm (7.5 psig) |
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进气口连接 |
NW25 KF 法兰 |
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排气口连接 |
1⁄4 英寸内螺纹 NPT |
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排气口连接转接头 |
提供 NW16 KF 适配器 |
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气镇连接 |
1⁄8 英寸内螺纹 NPT |
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工作环境温度 |
5 到 40 ℃（41 到 104 °F） |
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储存温度 |
-20 到 60 ℃（-4 到 140 °F） |
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电动机额定功率 |
0.25 马力 (0.19 kW) |
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电源 |
1 相，50-60 Hz |
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电机过热保护 |
自动 |
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转速 |
60 Hz 时 1725 RPM |
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冷却 |
风冷 |
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重量 |
19.5 kg（43 磅） |
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限制 |
无腐蚀性、无爆炸性、无颗粒气体 |
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漏率（排气口密封） |
<1 × 10-7 std-cc/s 氦气 |
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法规认证 |
符合 CE、CSA 和 SEMI S2-2000 |
抽速图
外形图
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