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多个应用的简单操作
STM-2XM 是一款双通道速率/厚度监测仪,它将高精度与灵活编程相结合,易于操作,价格实惠。
STM-2XM 配有五种操作模式,可适应从简单到复杂的各种过程。 例如,使用简单模式仅监测单一传感器最简单的过程,或使用合金模式进行共沉积监测。 独立模式可将 STM-2XM 用作两个完全独立的监测仪。
两个传感器输入可以使用两个单石英晶体传感器或一个双石英晶体传感器。 每秒进行 10 次测量,从而实现每次测量 0.037 Å 的分辨率(密度为 1)。
功能丰富
STM-2XM 有八个可编程的数字输入、八个可编程的数字输出以及四个模拟输出,允许通常保留用于更昂贵仪器的集成水平。
可编程的功能包括闸门延迟、时间/功率监测和速率采样。 使用所有这些功能可实现最精确的读数和最长的晶体使用寿命。
通过简单的前面板界面或通过随附的 LabVIEW® 软件,运行并监测 STM-2XM。 这一简单的软件功能齐全并且易于使用。
易于使用
STM-2XM 配备了高对比度的 LCD 显示屏和直观的菜单系统。 整个菜单内均可找到屏幕提示,用于简单的引导式编程和操作。 易于阅读的 LCD 可显示累积的质量或厚度
多个应用的简单操作
STM-2XM 是一款双通道速率/厚度监测仪,它将高精度与灵活编程相结合,易于操作,价格实惠。
STM-2XM 配有五种操作模式,可适应从简单到复杂的各种过程。 例如,使用简单模式仅监测单一传感器最简单的过程,或使用合金模式进行共沉积监测。 独立模式可将 STM-2XM 用作两个完全独立的监测仪。
两个传感器输入可以使用两个单石英晶体传感器或一个双石英晶体传感器。 每秒进行 10 次测量,从而实现每次测量 0.037 Å 的分辨率(密度为 1)。
功能丰富
STM-2XM 有八个可编程的数字输入、八个可编程的数字输出以及四个模拟输出,允许通常保留用于更昂贵仪器的集成水平。
可编程的功能包括闸门延迟、时间/功率监测和速率采样。 使用所有这些功能可实现最精确的读数和最长的晶体使用寿命。
通过简单的前面板界面或通过随附的 LabVIEW® 软件,运行并监测 STM-2XM。 这一简单的软件功能齐全并且易于使用。
易于使用
STM-2XM 配备了高对比度的 LCD 显示屏和直观的菜单系统。 整个菜单内均可找到屏幕提示,用于简单的引导式编程和操作。 易于阅读的 LCD 可显示累积的质量或厚度
STM-2XM | |
---|---|
零件号 | 明细 |
STM-2XM-G1 | STM-2XM 监测仪,美式电源线 |
STM-2XM-G2 | STM-2XM 监测仪,欧式电源线 |
类型 | STM-2XM | |
---|---|---|
兼容传感器 | Single/shuttered single or dual QCM sensor | |
传感器输入 | Two | |
测量频率范围 | 6.0 to 5.0 MHz (fixed) | |
频率分辨率 | ±0.03 MHz at 6 MHz | |
参考频率稳定性 | ±2 ppm | |
厚度和速率分辨率/测量 | ±0.037 Å @ tooling/density = 100/1, fundamental frequency = 6 MHz | |
测量间隔 | 0.10 s | |
存储薄膜 | 15 | |
显示模式 | Thickness/Mass | |
数字输入 | Eight | |
数字输出 | Eight | |
模拟输出 | Four | |
模拟输出额定参数 | 0 to +/-10 V, 10 mA | |
继电器额定参数 | Up to 48 V (dc) • V (ac), 2A | |
电源要求 | 120/240, 50/60 Hz, 2.5 VA |
产品目录 PRODUCTS LIST
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