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SQM-160 薄膜沉积监控器
SQM-160 薄膜沉积监控器
SQM-160 使用成熟的 INFICON 石英晶体传感器技术在薄膜沉积过程中测量速率和厚度。两个传感器输入为标准输入，另外四个传感器输入为可选输入。两个记录器输出提供模拟速度和厚度信号。
传感器输入可分配给不同的材料，在大型系统中平均分配以实现精确的沉积控制，或者配置为双传感器。速率采样模式可在高速率过程中屏蔽传感器，从而延长传感器的使用寿命。速率显示为 0.1Å/s 或 0.01Å/s，用户可自行选择。此外，还可以选择频率或质量显示。凭借四个继电器输入，SQM-160 可控制来源或传感器屏蔽、信号时间和厚度设定点以及信号晶体失效。数字输入允许外部信号启动/停止和归零读数。
SQM-160 薄膜沉积监控器
SQM-160 使用成熟的 INFICON 石英晶体传感器技术在薄膜沉积过程中测量速率和厚度。两个传感器输入为标准输入，另外四个传感器输入为可选输入。两个记录器输出提供模拟速度和厚度信号。
传感器输入可分配给不同的材料，在大型系统中平均分配以实现精确的沉积控制，或者配置为双传感器。速率采样模式可在高速率过程中屏蔽传感器，从而延长传感器的使用寿命。速率显示为 0.1Å/s 或 0.01Å/s，用户可自行选择。此外，还可以选择频率或质量显示。凭借四个继电器输入，SQM-160 可控制来源或传感器屏蔽、信号时间和厚度设定点以及信号晶体失效。数字输入允许外部信号启动/停止和归零读数。
功能
- 两个标准测量通道，另外四个可选
- 模拟输出便于记录速率/厚度
- 高分辨率选项： 每秒 10 个读数时 0.03 赫兹
- RS-232 标准接口，可选择连接 USB 或以
零件号
规格
| 类型 | SQM-160 Standard Resolution | SQM-160 High Resolution | |
|---|---|---|---|
| QCM 传感器输入 | Standard: 2; optional: 4 | Standard: 2; optional: 4 | |
| 测量频率范围 |
Adjustable: 1.0 MHz minimum 6.5 MHz maximum |
Adjustable: 1.0 MHz minimum 6.5 MHz maximum |
|
| 频率分辨率 (1) | ± 0.30 Hz | ± 0.03 Hz | |
| 厚度和速率分辨率/测量 (2) | ± 0.37 Å | ± 0.037 Å | |
| 测量周期 | 0.10 to 2.0 s (adjustable) | 0.10 to 2.0 s (adjustable) | |
| 测量过滤器 | 1 to 20 readings | 1 to 20 readings | |
| 存储薄膜 | 99 | 99 | |
| 模拟输出 | Two 0 to 5 VDC, rate & thickness | Two 0 to 5 VDC, rate & thickness | |
| 数字输入/输出 | Two inputs, four relay outputs | Two inputs, four relay outputs | |
| 通信接口 |
Standard: RS-232; Optional: USB or Ethernet |
Standard: RS-232; Optional: USB or Ethernet |
|
| 功率 | 100-120/200-240 VAC, 50/60 Hz, 20 W | 100-120/200-240 VAC, 50/60 Hz, 20 W | |
| CE 合规性 |
Class 1 equipment, 73/72/EEC LVD, 89/336/EEC ECD |
Class 1 equipment, 73/72/EEC LVD, 89/336/EEC ECD |
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| 壳体/安装 |
1/2-rack cabinet, 3-1/2" high, 89 x 213 x 197mm (3-1/2" x 8-1/2" x 7-3/4") |
1/2-rack cabinet, 3-1/2" high, 89 x 213 x 197mm (3-1/2" x 8-1/2" x 7-3/4") |
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| 重量 | 2.7 Kg (6 lbs) | 2.7 Kg (6 lbs) | |
| Windows 软件（集成） |
Provides remote setup and operation, datalogging functions - see sample screenshot at right. |
Provides remote setup and operation, datalogging functions - see sample screenshot at right. |
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(2) 工具/密度 = 100/1，基础频率= 6 赫兹，0.10 秒测量间隔
产品目录 PRODUCTS LIST
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