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石英晶振片

石英晶振片

用于真空应用的石英监控器晶体

石英晶体是 QCM
系统中的速率和厚度传感元件。这些晶体用于所有标准 INFICON 监控器或控制器以及 INFICON(或其他制造商的)单、双或多晶体传感器的真空应用。  


INFICON
推出各种晶体和包装,可随时为您提供所需的晶体。


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用于真空应用的石英监控器晶体

石英晶体是 QCM
系统中的速率和厚度传感元件。这些晶体用于所有标准 INFICON 监控器或控制器以及 INFICON(或其他制造商的)单、双或多晶体传感器的真空应用。  


INFICON
推出各种晶体和包装,可随时为您提供所需的晶体。


INFICON 晶振片 100% 通过精度和可靠性测试

晶体的质量和寿命不仅影响速率和厚度测量的准确性,更重要的是还决定着受控制的过程能否成功完成。INFICON 石英晶体具有经过实践验证的卓越品质和可靠性,其在各种材料、应用和行业中的无数次成功的过程运行充分证明了这一点。

我们的 6 MHz 晶体可与所有 INFICON 控制器和监控器结合使用。而 5 MHz 晶体只能与 5MHz 仪器结合使用;与有些 INFICON 仪器并不兼容。6 MHz 和 5 MHz 晶体具有金、银或合金三种电极并根据您的需要采用各种包装。

INFICON 洁净室石英晶体包装便于将晶体从包装直接分发到传感器,从而最大限度地减少操作员处理工作,降低污染风险。为使晶体包装更能满足洁净室的要求,我们取消了纸张和泡棉,而且包装可以堆叠,便于储存。

功能

  • 5 和 6 MHz
  • 金、银(用于高热负荷过程)和减压合金(用于电介质材料和半导体过程的光学涂膜)
  • 三种方便的封装选择 – 洁净室兼容包装、平板包装和紧凑型包装
  • 根据您要求的尺寸和频率定制的晶体


零件号

INFICON Crystals
零件号 明细
6 MHz INFICON Crystals 直径 0.550 in. (14 mm),每包 10 颗晶体
008-010-G10 6 MHz 金,洁净室兼容包装
008-009-G10 6 MHz 银,洁净室兼容包装
750-679-G1 6 MHz 合金,洁净室兼容包装
750-1000-G10 6 MHz 金,平板圆盘包装
750-1001-G10 6 MHz 银,平板圆盘包装
750-1002-G10 6 MHz 合金,平板圆盘包装
SPC-1093-G10 6 MHz 金,紧凑型包装
750-1014-G10 6 MHz 银,紧凑型包装
750-1015-G10 6 MHz 合金,紧凑型包装
SPC-1157-G10 6 MHz 金,热震,洁净室兼容包装
SPC-1194-G10 6 MHz 金,热震,平板圆盘包装
5 MHz INFICON Crystals 直径 0.550 in. (14 mm),每包 10 颗晶体
750-225-G2 5 MHz 金,洁净室兼容包装
750-226-G2 5 MHz 银,洁净室兼容包装
750-678-G1 5 MHz 合金,洁净室兼容包装
750-1005-G10 5 MHz 金,平板圆盘包装
750-1006-G10 5 MHz 银,平板圆盘包装
750-1007-G10 5 MHz 合金,平板圆盘包装
750-1016-G10 5 MHz 金,紧凑型包装
750-1017-G10 5 MHz 银,紧凑型包装
750-1018-G10 5 MHz 合金,紧凑型包装
6 MHz Crystals 直径 0.550 in. (14 mm),每包 10 颗晶体
Maxtek Crystals
零件号 明细
0.550 in. (14 mm) Diameter 与大部分探头(INFICON、Maxtek、Sigma、Sycon 等)兼容
103200-2 6 MHz 晶片,金,每盒 5片
103204 5 MHz 晶片,金,每盒 5 片
103220 6 MHz 晶片,金,每盘 10 片
103221 6 MHz 晶片,银,每盘 10片
103240 6 MHz 晶片,合金,每盘 10 片
103222 5 MHz 晶片,金,每盘 10 片
103223 5 MHz 晶片,银,每盘 10片
0.550 in. (14mm) Dia - Balzers 与 Balzers 传感器兼容
103207 5 MHz晶片,银,Balzers 式,每盒 5 片
103224 5 MHz 晶片,金,Balzers 式,每盘 10 片
0.490 in. (12.5 mm) Diameter 与 Ulvac 和 Sloan 传感器兼容
186201 5 MHz (0.490 in.) 晶片,金,每盘 10片
186200 5 MHz 12.5 mm (0.490 in.) 晶片,银,每盘 10片
 

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