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IQM-233 薄膜沉积控制器 PCI-Express 卡

IQM-233 薄膜沉积控制器 PCI-Express 卡

在 PCI EXPRESS 卡上实现低成本镀膜控制

IQM-233 PCI Express 卡可使您的 PC 变成薄膜膜厚控制仪。这种由 INFICON 设计和制造的产品是OEM 系统集成商或要将薄膜膜厚控制仪集成到现有 PC 或 PLC 控制系统的所有厂商的理想选择。安装简便—只需您提供一个未占用的 PCI Express 插槽。IQM-233 可安装到标准或小型 PC 机箱中。

无与伦比的功能
IQM-233 可在每个卡上提供三个 QCM 探头输入和三个源输出。单台 PC 上最多可安装两个 IQM-233 卡(需要可选软件IQS-233 ),其最多可提供六个探头输入和六个源输出。只有 INFICON 才能如此灵活地完全实现集成 PC 控制 QCM 探头。

IQM-233 可与 INFICON 振荡器 IPN 782-900-010 兼容,因此更换 SQM-242 卡不需要安装新振荡器。它还与所有 INFICON 单探头和双探头兼容。

选择最适合您的软件解决方案
IQM-233 随附基本 Windows® 软件,用于通过单 IQM-233 卡设置或控制连续镀膜或共镀膜过程。通过可选 IQS-233 共镀膜 Windows® 软件可进行更加复杂的工艺设置,包括多层共镀膜、图型以及PLC与继电器的集成/输入功能。IQS-233 软件最多允许使用两个 IQM-233 卡。

作为希望编写自有软件的客户的备选方案,IQM-233 所包含的 LabVIEW ™ 样板程序可提供基本功能和编程技术的演示。

 

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在 PCI EXPRESS 卡上实现低成本镀膜控制

IQM-233 PCI Express 卡可使您的 PC 变成薄膜膜厚控制仪。这种由 INFICON 设计和制造的产品是OEM 系统集成商或要将薄膜膜厚控制仪集成到现有 PC 或 PLC 控制系统的所有厂商的理想选择。安装简便—只需您提供一个未占用的 PCI Express 插槽。IQM-233 可安装到标准或小型 PC 机箱中。

无与伦比的功能
IQM-233 可在每个卡上提供三个 QCM 探头输入和三个源输出。单台 PC 上最多可安装两个 IQM-233 卡(需要可选软件IQS-233 ),其最多可提供六个探头输入和六个源输出。只有 INFICON 才能如此灵活地完全实现集成 PC 控制 QCM 探头。

IQM-233 可与 INFICON 振荡器 IPN 782-900-010 兼容,因此更换 SQM-242 卡不需要安装新振荡器。它还与所有 INFICON 单探头和双探头兼容。

选择最适合您的软件解决方案
IQM-233 随附基本 Windows® 软件,用于通过单 IQM-233 卡设置或控制连续镀膜或共镀膜过程。通过可选 IQS-233 共镀膜 Windows® 软件可进行更加复杂的工艺设置,包括多层共镀膜、图型以及PLC与继电器的集成/输入功能。IQS-233 软件最多允许使用两个 IQM-233 卡。

作为希望编写自有软件的客户的备选方案,IQM-233 所包含的 LabVIEW ™ 样板程序可提供基本功能和编程技术的演示。

 


功能

  • PCI Express
  • 三个传感器输入,三个控制输出
  • 在 PC 中安装多个卡
  • 多源共沉积
  • 易于进行 PLC 集成以增加 I/O 功能
  • 使用方便
  • 物有所值

选择最适合您的软件解决方案
IQM-233 随附基本 Windows® 软件,用于通过单 IQM-233 卡设置或控制连续镀膜或共镀膜过程。通过可选 IQS-233 共镀膜 Windows® 软件可进行更加复杂的工艺设置,包括多层共镀膜、图型以及PLC与继电器的集成/输入功能。IQS-233 软件最多允许使用两个 IQM-233 卡。

作为希望编写自有软件的客户的备选方案,IQM-233 所包含的 LabVIEW ™ 样板程序可提供基本功能和编程技术的演示。


功能

  • PCI Express
  • 三个传感器输入,三个控制输出
  • 在 PC 中安装多个卡
  • 多源共沉积
  • 易于进行 PLC 集成以增加 I/O 功能
  • 使用方便
  • 物有所值

零件号

IQM-233
零件号 明细
782-IQM-233-G1 用于标准 PCI Express 插槽的 IQM-233 QCM 控制器卡
782-IQM-233-G2 用于小尺寸架构 (SFF) PCI Express 插槽的 IQM-233 QCM 控制器卡
782-IQS-233 IQS-233 共沉积软件

规格

类型 IQM-233
PC 接口 PCIe x1 - PCE Express Slot
(Std or SFF)
传感器输入和性能  
探头输入 3
连接器 SMA - Includes one SMA/BNC adapter
频率分辨率 (1) ±0.10 Hz @ 6 MHz
测量频率范围 Adjustable:
4.0 MHz minimum
6.1 MHz maximum
厚度和速率分辨率/测量 (2) ±0.12 Å
测量周期 0.1 to 2.0 s (adjustable)
输出  
源输出 3
连接器 15-pin high density D-sub
信号 0 to +/- 10 V (dc)
分辨率 15 Bit Plus Sign
阻抗 50 Ω
(1) 0.25 秒测量间隔的分辨率
(2) 工具/密度 = 100/1,基础频率= 6 赫兹,0.25 秒测量间隔
 

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