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Cygnus 2 薄膜沉积控制器
为 OLED 应用提供最佳测量精度
Cygnus 2 薄膜沉积控制器在 INFICON 薄膜沉积控制器可靠成熟的性能基础上，增添了更多独特的功能，可帮助您实现 OLED 过程的最大价值。Cygnus 2 使用我们 ModeLock 频率测量系统，提供稳定、高分辨率的速率和厚度测量，速率分辨率可达每 1/10 秒 0.00433 Å/s，是行业中的佼佼者。Cygnus 2 具有其他石英晶体控制器无法比拟的性能、品质和功能，赋予您的过程卓越的可重复性。
为 OLED 应用提供最佳测量精度
Cygnus 2 薄膜沉积控制器在 INFICON 薄膜沉积控制器可靠成熟的性能基础上，增添了更多独特的功能，可帮助您实现 OLED 过程的最大价值。Cygnus 2 使用我们 ModeLock 频率测量系统，提供稳定、高分辨率的速率和厚度测量，速率分辨率可达每 1/10 秒 0.00433 Å/s，是行业中的佼佼者。Cygnus 2 具有其他石英晶体控制器无法比拟的性能、品质和功能，赋予您的过程卓越的可重复性。
功能
- INFICON ModeLock 技术确保获得最高、最稳定的速率和厚度测量分辨率，即使在速率极低的情况下
- Auto Z 技术通过自动测定沉积材料的 Z 比值，可提高厚度测量的精度
- 一个 Cygnus 2 即可同时、单独或以任何组合方式控制最多 6 个来源，无需使用两个或三个控制器
- 彩色 TFT LCD 显示屏使用户很容易看到过程的进展状况
- 10 Hz 测量
- 100ms 样本速率下频率范围为 +/-0.0035 Hz
- USB 数据存储功能可存储屏幕截图、配方存储和数据记录
- 多个源厚度合计功能
- 测量低密度、低速率材料的平均速率（使用稳定源的低速率 OLED 掺杂材料沉积最多 30 秒）
- 速率显示分辨率可达0.001Å
- 4 米 XIU 选件能够在大型系统中使用较长的真空传感器电缆
- 无沉积控制允许持续控制源，因为基片可以通过沉积室不断循环
- 6 个标准 DAC 输出和另外 6 个可选输出用于来源控制、速率或厚度监控
- 可选以太网通信
- 符合 RoHS 标准
零件号
规格
| 类型 | Cygnus 2 | |
|---|---|---|
| 测量性能 | ||
| 频率分辨率 |
±0.0035 Hz @ 6 MHz |
|
| 厚度和速率分辨率/测量 (1) | ±0.00433 Å | |
| 测量频率范围 | 6.0 to 4.5 MHz (fixed) | |
| 厚度精度 (2) | 0.5% | |
| 测量周期 | 0.10 s | |
| 多个测量值平均 | 0.1, 0.4, 1.0, 4.0, 10.0, 20.0, and 30.0 sec. averaging allowed | |
| 设计功能 | ||
| 多传感器测量 | yes (up to 6 sensors) | |
| Auto Z | yes | |
| 共沉积 | yes (up to 6 sensors) | |
| 过程配方和数据管理 | ||
| 材料计划 | 6 independent materials | |
| USB 存储器 | yes | |
| 数据记录 | yes | |
| 硬件功能 | ||
| 传感器 (3) | ||
| 单 | 6 | |
| 带 CrystalTwo® 的双 | 6 (with one CrystalTwo Switch per sensor input) | |
| CrystalSix® | 6 | |
| Crystal 12® | 6 | |
| 通用 | 6 | |
| 来源控制 | ||
| 来源数量 (4) | up to 6 | |
| 来源控制电压 | 0 to +/-10 V, adjustable | |
| 输出分辨率 | 15 bits over full range (0 to 10V) | |
| 坩埚位置 | 64 | |
| 输入 / 输出 | ||
| 输入 | 14 standard, up to 28 optional; TTL/CMOS logic compatible or closure to ground | |
| 输出 | 8 standard, up to 24 optional programmable SPST relays rated at 30 V(dc) or 30 V(ac) RMS or 42 V peak @ 2.5 amps; 14 optional TTL outputs | |
| 记录器输出 (4) | 0 to +10 V, adjustable | |
| 逻辑语句 | 100 fully programmable; up to 5 actions, 5 events per statement | |
| 通信 | ||
| 标准 | RS232 | |
| 可选 | Ethernet | |
| 显示器 | ||
| 厚度分辨率 |
1 Å for 0 to 9.999 kÅ 10 Å for 10.00 to 99.99 kÅ 100 Å for 100.0 to 999.9 kÅ 1 kÅ for 1000 to 9999 kÅ |
|
| 速率分辨率 |
0.001 for 0 to 9.999 Å/s 0.01 for 0 to 99.99 Å/s 0.1 for 100 to 999.9 Å/s |
|
| 操作 | ||
| 电源要求 |
100 – 230 V (ac) +/- 15% 50 / 60 Hz +/- 3 Hz |
|
| 工作温度 | 0 to 50 C (32 to 122 F) | |
| 尺寸，不包括安装件（高 x 宽 x 深） | 5.25” x 19” x 13” (133mm x 483mm x 330 mm) | |
| 重量 | 13 lbs (5.9 kg) | |
(1) 工具/密度 = 100/1，基础频率 = 6 兆赫兹
(2) 随过程变化；数值表示典型的精度
(3) 每种类型的最大配置
(4) Cygnus 2 有 6 个 DAC 输出标准，还可选择再添加 6 个。可将 12 个中的任何一个配置为来源控制电压或记录器输出，但可同时控制的来源数量为 6
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