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首页 >> inficon薄膜沉积控制产品（晶控仪） >> 薄膜沉积控制仪 >> SQC-310 薄膜沉积控制器
SQC-310 薄膜沉积控制器

SQC-310 薄膜沉积控制器

高精度连续镀膜控制或共镀膜控制


凭借先进的技术、完善的显示和实惠的价格，INFICON SQC-310 系列提供同类膜厚控制仪无法企及的优势。可以选择适合您应用的理想型号：连续镀膜 (SQC-310) 或共镀膜 (SQC-310C)。

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高精度连续镀膜控制或共镀膜控制


凭借先进的技术、完善的显示和实惠的价格，INFICON SQC-310 系列提供同类膜厚控制仪无法企及的优势。可以选择适合您应用的理想型号：连续镀膜 (SQC-310) 或共镀膜 (SQC-310C)。

功能

  • 明亮的彩色 LCD 显示屏 - 提供英文或中文版本
  • 标准 RS-232 和 USB（可选 RS-232 和以太网）
  • 设有“Quick Setup”（快速设定）菜单、6 个区分上下文按钮以及一个简便的参数设定旋钮，易于设定和操作
  • 用于开发、测试和下载过程的 Windows® 程序，以及用于将仪器数据记录到 PC 进行过程分析与质量控制的 Windows 程序
  • 精确的过程控制，尤其适用于低沉积速率，测量速率为每秒 10 个读数，测量分辨率为 ±0.03 Hz
  • 存储容量可达 100 个过程、1000 层薄膜、50 种薄膜材料
  • 使用单传感器或多传感器监控源材料，提供精确的源分布监控

零件号


规格

类型 SQC-310 SQC-310C
测量    
QCM 输入 2 (4 optional) 4
测量频率范围 Adjustable:
1.0 MHz minimum
6.5 MHz maximum
 		Adjustable:
1.0 MHz minimum
6.5 MHz maximum
频率分辨率 (1) ± 0.012 Hz ± 0.012 Hz
厚度和速率分辨率/测量 (2) ±0.015 Å ±0.015 Å
频率稳定性 ± 2 ppm total, 0 to 50C ± 2 ppm total, 0 to 50C
测量周期 0.10 to 1.0 s (adjustable) 0.10 to 1.0 s (adjustable)
速率显示 0.01 Å/sec 0.01 Å/sec
控制    
存储 100 processes, 1000 layers, 50 films 100 processes, 1000 layers, 50 films
控制输出 2 (4 optional) 4
输出信号 ± 0 to 10 VDC, 15 bits ± 0 to 10 VDC, 15 bits
数字输入/继电器 8/8 (16/16 optional) 16/16
数字输入 5 VDC non-isolated 5 VDC non-isolated
继电器 SPST Form 1A, 30V, 2A max SPST Form 1A, 30V, 2A max
接口 Standard RS-232 and USB (RS-232 and Ethernet optional) Standard RS-232 and USB (RS-232 and Ethernet optional)
远程电源控制 Optional (IPN 782-900-017) Optional (IPN 782-900-017)
显示器    
类型 1/4 VGA 320 x 240 active matrix color LCD 1/4 VGA 320 x 240 active matrix color LCD
图表 Rate, deviation, power or full screen numeric Rate, deviation, power or full screen numeric
一般    
功率 100-240 VAC, 50/60 Hz, 25W 100-240 VAC, 50/60 Hz, 25 W
合规性 CE, RoHS CE, RoHS
Windows® 软件 Included Included
壳体/安装 5 1/4” half-rack 5 1/4” half-rack
(1) 0.25 秒测量间隔的分辨率
(2) 工具/密度 = 100/1，基础频率= 6 赫兹，0.25 秒测量间隔
 

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