公司名称：深圳市万德泉科技有限公司
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QQ：347381235
XTC/3薄膜沉积控制器
技术先进，经济实惠，可对单层或多层薄膜进行速率控制
立即了解用于单层和多层过程的薄膜沉积控制器的详细信息。XTC/3 带有专利 ModeLock，提供跳模预防功能，确保获得始终如一的质量。使用 XTC/3 薄膜沉积控制器，您可以高度精确地控制沉积速率和厚度，获得几乎适用于所有层的容量，而且控制器安装简便，具有极高可靠性，可确保高生产力。
INFICON 是薄膜沉积控制领域的全球领导者，现在提供的这款仪器具有极低的拥有成本，可为客户带来空前的价值。
无论您需要的是生产、研发还是开发方面的控制，您都将发现 INFICON XTC/3 能够完美满足您的需求。
全球 INFICON 支持
无论您身在何处，都可获得快速回复、贴心服务以及最长运行时间。INFICON 是唯一一家在全球设有本地服务与技术支持中心的薄膜沉积控制器制造商，其办事处遍布全球。
技术先进，经济实惠，可对单层或多层薄膜进行速率控制
立即了解用于单层和多层过程的薄膜沉积控制器的详细信息。XTC/3 带有专利 ModeLock，提供跳模预防功能，确保获得始终如一的质量。使用 XTC/3 薄膜沉积控制器，您可以高度精确地控制沉积速率和厚度，获得几乎适用于所有层的容量，而且控制器安装简便，具有极高可靠性，可确保高生产力。
INFICON 是薄膜沉积控制领域的全球领导者，现在提供的这款仪器具有极低的拥有成本，可为客户带来空前的价值。
无论您需要的是生产、研发还是开发方面的控制，您都将发现 INFICON XTC/3 能够完美满足您的需求。
全球 INFICON 支持
无论您身在何处，都可获得快速回复、贴心服务以及最长运行时间。INFICON 是唯一一家在全球设有本地服务与技术支持中心的薄膜沉积控制器制造商，其办事处遍布全球。
功能
-
提供有单层和多层型号
-
专利 ModeLock 技术可避免跳模引起的薄膜厚度误差
-
支持 Crystal 12®、Crystal Six® 和双传感器自动晶体转换，从而最大化生产力
-
XTC/3M 多层型号最多支持 99 个过程、999 层薄膜、32 种薄膜材料、2
个传感器和两种源
-
XTC/3S 单层型号最多支持 9 种薄膜、2 个传感器和两种源
-
易于阅读的 TFT LCD 图形显示器
-
可以为薄膜和过程分配唯一的描述性名称，以便于检索
-
提供以太网连接
-
独立式（不需要计算机）或便于 PC 操作的可选 Windows® 软件
-
插拔式替换 INFICON XTC/2 控制器（受限于 XTC/2 功能和命令集）
典型应用
-
高端光学镀膜
零件号
功能
- 提供有单层和多层型号
- 专利 ModeLock 技术可避免跳模引起的薄膜厚度误差
- 支持 Crystal 12®、Crystal Six® 和双传感器自动晶体转换，从而最大化生产力
- XTC/3M 多层型号最多支持 99 个过程、999 层薄膜、32 种薄膜材料、2 个传感器和两种源
- XTC/3S 单层型号最多支持 9 种薄膜、2 个传感器和两种源
- 易于阅读的 TFT LCD 图形显示器
- 可以为薄膜和过程分配唯一的描述性名称，以便于检索
- 提供以太网连接
- 独立式（不需要计算机）或便于 PC 操作的可选 Windows® 软件
- 插拔式替换 INFICON XTC/2 控制器（受限于 XTC/2 功能和命令集）
典型应用
- 高端光学镀膜
规格
| 类型 | XTC3/S | XTC3/M | |
|---|---|---|---|
| 频率分辨率 |
±0.028 Hz @ 6 MHz |
±0.028 Hz @ 6 MHz |
|
| 测量频率范围 | 6.0 to 5.0 MHz (fixed) | 6.0 to 5.0 MHz (fixed) | |
| 测量周期 | 0.25 seconds | 0.25 seconds | |
| 厚度和速率分辨率/测量 (1) | ±0.034 Å | ±0.034 Å | |
| 测量技术 | ModeLock | ModeLock | |
| 过程数量 | 1 | 99 | |
| 层数 | 1 | 999 | |
| 材料计划（或薄膜）数量 | 9 | 32 | |
| 传感器输入数量 | 2 | 2 | |
| CrystalSix / Crystal 12 传感器支持 | Yes | Yes | |
| 支持 XTAL 2 开关 | Yes | Yes | |
| 来源输出数量 | 2 | 2 | |
| 计算机通信 | RS232 standard, Ethernet TCP/IP optional | RS232 standard, Ethernet TCP/IP optional | |
| 最大 RS232 波特率 | 115.2 KBaud | 115.2 KBaud | |
| 自动晶体转换 | Yes | Yes | |
| 继电器数量 | 12, Not Event Assignable | 12, Event Assignable | |
| 可编程继电器功能数量 | 1 | 1 | |
| 每个继电器的功能 | 1 | 1 | |
| 继电器额定电压 | 30VDC or 30VAC RMS or 42V peak at 2.5 Amps | 30VDC or 30VAC RMS or 42V peak at 2.5 Amps | |
| 输入数量 | 8 TTL, 24VDC Max | 8 TTL, 24VDC Max | |
| 可编程输入功能数量 | 1, Not Event Assignable | 1, Event Assignable | |
| 记录器输出数量 | 1 | 1 | |
| 手动电源 / 手持控制器 | Yes | Yes | |
| 排气管风扇 | No Exhaust Fan | No Exhaust Fan | |
| 测试模式 | Yes | Yes | |
| 闸门延迟 | Yes | Yes | |
| 二次成型模具 | Yes | Yes | |
| 外壳尺寸 | half rack, 2U high | half rack, 2U high | |
| 速率和厚度显示分辨率 | 0.1 A/s for 0.0 to 99.9 A/s, 1 A/s for 100 to 999 A/s, display thickness resolution = 1 A | 0.1 A/s for 0.0 to 99.9 A/s, 1 A/s for 100 to 999 A/s, display thickness resolution = 1 A | |
| 通过输入选择膜 | Yes | No | |
| 用户指南语言 | English, Chinese | English, Chinese | |
| 控制环路 | PID | PID | |
| 用于从 PC 操作的软件 | Yes | Yes | |
| 数据记录 | Yes | Yes | |
| 质量和稳定性功能 | Yes | Yes | |
| 采样保持 (RateWatcher™) | Yes | Yes | |
| 坩埚选择 | Yes | Yes | |
| 坩埚反馈输入 | Yes | Yes | |
| 选择控制电压极性 | Yes, +/- 2.5, 5, 10 Volts; 15-bit Resolution | Yes, +/- 2.5, 5, 10 Volts; 15-bit Resolution | |
| 程序锁定码 | Yes | Yes | |
| 带图形的显示器 | Yes | Yes | |
| 用户标记过程（手机式字母数字输入） | No | No | |
| 用户标记膜（手机式字母数字输入） | No | No | |
| 传输传感器控制 | Yes | Yes | |
| XTC/2 RS232 通信兼容性 | Yes (limited) | Yes (limited) | |
(1) 工具/密度 = 100/1，基础频率 = 6 兆赫兹
产品目录 PRODUCTS LIST
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