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agilent扩散泵

agilent扩散泵

agilent(原varian）扩散泵，扩散泵的发明者，作为为全世界范围内领先的扩散泵供应商，为客户提供口径从2英寸到35英寸范围内各种扩散泵，是美国唯一的一个全系列的扩散泵供应商。产品具有大抽速，高排气量等特点。 适用于真空度在10-1~10-8mbar之间。


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agilent(原varian）扩散泵，扩散泵的发明者，作为为全世界范围内领先的扩散泵供应商，为客户提供口径从2英寸到35英寸范围内各种扩散泵，是美国唯一的一个全系列的扩散泵供应商。产品具有大抽速，高排气量等特点。 适用于真空度在10-1~10-8mbar之间。


agilent(原varian）扩散泵作为领先的扩散泵制造商，安捷伦拥有最全面的扩散泵产品线，直径从 2 英寸至 35 英寸不等。该扩散泵专用于批量生产，可以在高压、高负载条件下保持很大的抽气能力，并能适应大批量生产中常见的气体负荷变化情况。优化的泵设计使得单位功率可以提供最大的抽气量，并降低了对冷却水的要求。此外，坚固耐用的不锈钢构造也可以将总拥有成本降至最低。该泵操作维护简单，最大程度地延长了正常工作时间，并且有优秀的安捷伦应用和技术支持团队提供支持。应用包括高真空应用、真空炉、涂覆、薄膜沉积和分子束外延。

agilent(原varian）扩散泵特点：
1、 大抽速、大抽气量
2、抗辐射、抗氧化、快速循环.抗爆炸.
3、高前级耐压
4、高极限真空度
5、 返油量极低
6、 超常的使用寿命

agilent(原varian）扩散泵技术参数：

型号 AX-65 HS-2  VHS-4  VHS-6  VHS-250 
 抽速空气，L/s  65 160 750  1550  2125 
 最大前级耐压Torr/mbar
没有负载
有负载
0.75/1.0
0.6/0.78
0.55/0.72
0.4/0.52
0.65/0.86
0.55/0.73
0.65/0.85
0.55/0.72
0.65/0.85
0.55/0.72
 推荐前级泵抽速m3/hr  0.15/0.25  5.0/8.5  10/17  17/28.9  17/28.9
 返油率mg/cm2/min
标准冷带 		2×10-4 1×10-3 5×10-4  5×10-4  5×10-4
 启动时间（min）  7  15  10  10  15
 电源  1ph,50Hz,
220V 		 1ph,50Hz,
240V 		 1ph,50Hz
240V 		 1ph,50Hz,
240V 		 3ph,50Hz,
240V
 功率  200/250 450   1450 2200   2200
 冷却水l/hr,15-26°C  N/A  0.1/20 0.15/30   0.25/50 0.25/50 
 
型号 VHS-10  VHS-400  HS-16  HS-32  NHS-35 
 抽速空气，L/s 3650  4500  6000  17300  28000 
 最大前级耐压Torr/mbar
没有负载
有负载
0.65/0.85
0.55/0.72 		0.65/0.85
0.55/0.72 		 0.65/0.82
0.55/0.72 		0.50/0.65
0.35/0.45 		0.55/0.71
0.40/0.52
 推荐前级泵抽速m3/hr  30/51  30/51  80/136  300/510  300/510
 返油率mg/cm2/min
标准冷带 		5×10-4 1×10-3  1.5×10-3 7×10-4  5×10-4
 启动时间（min）  15  30  45  60  －－
 电源  3ph,50Hz,
380V 		 3ph,50Hz,
380V 		 3ph,50Hz,
380V   		 3ph,50Hz,
380V   		 3ph,50Hz,
380V  
 功率  4400  4400  8100/9600  24000  24000
 冷却水l/hr,15-26°C  0.4/80 0.4/80   1.5/300  4.0/800 4.0/800 

 

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