PEV-1压电阀
美国keyhigh PEV-1压电阀（PEV-1 PIEZOELECTRIC GAS LEAK VALVE）是为了适用真空系统的高精度气体流量控制阀门，主要应用领域包括：磁控溅射镀膜，光学镀膜，ITO镀膜，等离子体刻蚀等。可与国产自动压强控制仪配套使用，来实现闭环控制，达到稳定压强的目的，性价比高。
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美国keyhigh PEV-1压电阀（PEV-1 PIEZOELECTRIC GAS LEAK VALVE）是为了适用真空系统的高精度气体流量控制阀门，主要应用领域包括：磁控溅射镀膜，光学镀膜，ITO镀膜，等离子体刻蚀等。可与国产自动压强控制仪配套使用，来实现闭环控制，达到稳定压强的目的，性价比高。
PEV-1
压电阀主要技术特点：
1、控制模式：开环控制和闭环控制
2、易于集成：可与国产自动压强控制仪配套使用，来实现闭环控制，达到稳定压强的目的，性价比高，同时亦可选择进口压强控制仪
3、响应时间快
4、性能稳定，压电陶瓷片寿命长
6、无机械连接件，无伺服马达，无磨损，在断电的情况下可实现自动关闭的特点
PEV-1压电阀技术参数：
阀门类型：压电晶体
可控制的气体：兼容各种材料
流量范围：0？500 SCCM
漏率：<1x10E-9 scc/sec（1ATM HE ON INLET）
响应时间：2微秒
最大进气压力：50 PSI
驱动要求：电压：0-100VDC，电流：<10μA
操作温度范围：＋10°C 到 ＋60°C
材料：316不绣刚，氟橡胶，特富龙，陶瓷片
进气和出气连接：1/4"Swagelok Fittings
电气连接：标准BNC
重量：800克
