ONYX系列圆形磁控溅射阴极

Angstrom Sciences公司生产的的圆形磁控溅射阴极作为已成为公认的新标准，除了Angstrom Sciences的独特优点，还提供许多其他性能优点。
1、多功能，紧凑型设计
     其紧凑的设计使我们的圆形磁控管适合于任何新建或改造应用，包括最复杂的集群组件最小的真空室。
2、兼容各种形式的电源
    低阻抗头提供了射频，直流，中频直流，直流脉冲，微波电源的兼容性。
3、标准配件
    我们使用ISO标准配件，以及Conflat®金属密封法兰。所有附件的维护部分处于大气中，并使用标准的O形圈密封，易于安装及维护。
4、尺寸齐全
    圆形磁控阴极可选从1到16英寸直径的规格，标准或自定义配置。
5、快速，简便的更换靶材
    我们的专利螺纹式靶材卡环和阳极屏蔽罩允许你不使用辅助工具即可更换靶材。他们内置的可调节性也可以让你轻松适应不同厚度的靶材。
6、高真空度，高功率
    ONYX ®磁控管可以在极低的压力（10-4 Torr）的范围内操作，独特的直接冷却设计，可提供功率密度高达250 watts/in2 ( 30 watts/cm2 ) 。
7、高溅射速率，高性能
    更高的功率密度，溅射速率更快。在保持高溅射速率的同时，最大化镀膜面积和靶材利用率（通常在40％的范围内）
8、优秀的均匀性
    由于我们的专利异型磁铁，我们的磁控管也提供更大的沉积均匀性 - 经常在± 3-5 ％的范围内。
9、品质保证
    所有Angstrom Science的磁控阴极对做工和用料的缺陷保修两年。磁控阴极是我们的核心业务，我们随时准备着以确保您的满意度。

选项表格：

Target size (in.)

Indirect Target Cooling (clamped)

Indirect Target Cooling MAG.II Design

Direct Target Cooling (clamp or bond)

Direct Target Cooling MAG. II Design

"Add" High Temperature 200 degC continuous operation capability / UHV Compatible (10-9 Torr)

"Add" In-situ Tilting

"Add" Standard Internal Flex

"Add" Internal welded fixed angle

"Add" Manual Shutter

"Add" Pneumatic Shutter

"Add" Cross Contamination Shield

"Add" Gas Inlet Ring

"Add" External utility enclosure

"Add" External strain relief

1.0

2.0

3.0

4.0

5.0

6.0

8.0

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