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首页 >> inficon真空计 >> 宽量程真空计 >> PEG100潘宁真空计
PEG100潘宁真空计

PEG100潘宁真空计

INFICON 潘宁PEG100型真空计提供可靠的高真空测量。
坚固耐用的潘宁冷阴极传感器不会出现灯丝烧毁的现象。 由于采用钛阴极板且等离子点火后高电压将会降低，真空计还可在溅射应用环境下运行。
现场总线选件，除了对数模拟输出信号外，允许使用 Profibus DP 或 DeviceNet 协议将真空计轻松集成到真空系统中。


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INFICON 潘宁PEG100型真空计提供可靠的高真空测量。
坚固耐用的潘宁冷阴极传感器不会出现灯丝烧毁的现象。 由于采用钛阴极板且等离子点火后高电压将会降低，真空计还可在溅射应用环境下运行。
现场总线选件，除了对数模拟输出信号外，允许使用 Profibus DP 或 DeviceNet 协议将真空计轻松集成到真空系统中。


益处

  • 测量范围广，从 1 x 10-9 至 1 x 10-2 毫巴（7.5 x 10-10 至 7.5 x 10-3 托）
  • 全金属冷阴极传感器（潘宁），带陶瓷馈入装置
  • 创新的电极几何形状提供卓越的点火属性
  • 等离子点火后降低的高压和钛阴极板可减少污染危险，即使在有氩气的溅射运行中
  • 阳极环和钛阴极可轻松进行清洁或更换
  • 最小化真空计附近的磁场强度
  • 用于电源接通和等离子体点火的 LED 指示器
  • 对数模拟输出信号
  • 现场总线接口（Profibus DP、DeviceNet）允许使用网络通信将真空计轻松集成到真空系统中

典型应用

  • 高真空压力监控
  • 蒸发溅射系统
  • 高真空范围内的一般真空测量和控制

规格

类型 PEG100
测量范围 mbarTorr 1 x 10-9 to 1 x 10-2
精度  
10-8 至 10-4 毫巴 % of reading ±30
压力，最大（绝对） bar 10
温度  
运行（环境） °C +10 to +50
贮存 °C -20 to +75
无电子设备，烘烤 °C 350
带电子元件，在法兰处烘烤 °C 70
供应  
电压 V (dc) 14.5 to 36
消耗，最大 W <2
输出信号模拟  
输出信号 V 0 to 10.6
测量范围 V 0.66 to 10
电压与压强之间的关系 volts per decade 1.333
连接器 FCC 68, female, 8 pin (shielded)
电缆长度，最大（模拟） m (ft.) 100 (330)
暴露于真空的材料 Stainless steel, CrNi, AI2O3, NiFe, Mo, Cu, Ni, Ti
内部容积 cm³ (in.³) 21 (1.28)
重量，接近 g 500
保护类型 IP40
DeviceNet™  
设备类型 generic
显示对等网络传讯 no
I / O 对等传讯 no
配置一致性值 no
默认节点恢复 no
波特率 kBaud 125 / 250 / 500
主板 / 扫描器 no
I / O 从属传讯： 位触发 yes
I / O 从属传讯： 轮询 yes
I / O 从属传讯： 周期 yes
I / O 从属传讯： 状态改变 (COS) yes
DeviceNet™ 电源 V (dc) 11 to 25
DeviceNet™ 连接器 Phoenix Combicon, 5 pin
Profibus DP  
支持的波特率（自动检测） kBaud 9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500 / 1500
扩展的用户参数数据 byte 5
配置： 输入输出数据数量 2
同步模式和冻结模式 Yes
Profibus 的连接器 D-sub, 9 pin

零件号

PEG100
零件号 明细
351-000 真空计
351-002 PEG100-P 规管
351-003 PEG100D 型真空计
351-004 PEG100-D Penning Gauge; DN40CF-F
351-005 PEG100-P 规管

 

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