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首页 >> inficon真空计 >> 宽量程真空计 >> MPG400反磁控管皮拉尼真空计
MPG400反磁控管皮拉尼真空计

MPG400反磁控管皮拉尼真空计

INFICON 倒置磁控管皮拉尼MPG400 和 MPG401型真空计测量，范围范围从 5 x
10-9 毫巴至大气压（3.8 x 10-9 托至大气压）。
将多项技术融合到到一个带有对数模拟输出信号的单个紧凑数装置中，极大降低了安装、设置和集成的复杂性。


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INFICON 倒置磁控管皮拉尼MPG400 和 MPG401型真空计测量，范围范围从 5 x
10-9 毫巴至大气压（3.8 x 10-9 托至大气压）。
将多项技术融合到到一个带有对数模拟输出信号的单个紧凑数装置中，极大降低了安装、设置和集成的复杂性。


益处

  • 复合真空计 – 倒置磁控管与皮拉尼
  • 测量范围广，从 5 x 10-9 毫巴到大气压
  • 不会出现单丝烧毁的现象
  • 卓越的点火属性
  • 易于清洁
  • FPM 或金属密封馈入装置
  • 高压 LED 指示灯
  • 对数模拟输出信号

典型应用

  • 高真空压力监控
  • 蒸发系统和溅射系统的基本压力
  • 中高真空范围内的一般真空测量和控制

规格

类型 MPG400 FPM sealed MPG401 metal-sealed
测量范围（空气，N2） mbarTorr 5 x 10-9 … 1000 5 x 10-9 … 1000
精度 (N2)    
1 x 10-8 … 100 毫巴 % of reading ≈±30% ≈±30%
可重复性    
1 x 10-8 … 100 毫巴 % of reading ≈±5% ≈±5%
安装定位 any any
容许压力 bar (absolute) ≤10 (limited to inert gases) ≤10 (limited to inert gases)
容许温度    
运行（环境） °C +5 … +55 +5 … +55
贮存 °C –40 … +65 –40 … +65
烘烤 (1) °C 150 150
单丝温度（皮拉尼） °C 120 120
电源电压    
真空计上 V (dc) +15 … +30 +15 … +30
缆线最长的电源装置 (2) V (dc) +16 … +30 +16 … +30
波纹 V (p-p) ≤1 ≤1
功耗 W ≤2 ≤2
可连接的保险丝 AT ≤1 ≤1
输出信号（测量信号）    
电压范围 V 0 … +10.5 0 … +10.5
测量范围 V +1.82 … +8.6 +1.82 … +8.6
电压与压强 logarithmic, 0.6 volts per decade logarithmic, 0.6 volts per decade
错误信号    
无电源 V <0.5 <0.5
皮拉尼传感器，单丝断裂 V >9.5 >9.5
输出电阻 Ω 2 x 10 2 x 10
最小负载电阻 kΩ 10, short-circuit proof 10, short-circuit proof
反应时间    
p > 10-6 毫巴 ms <10 <10
p = 10-8 毫巴 ms ≈1000 ≈1000
识别真空计 85, referenced to supply common 85, referenced to supply common
状态    
仅皮拉尼模式 V 0 (low) 0 (low)
复合皮拉尼 / 冷阴极模式 V 15 … 30 (high) 15 … 30 (high)
LED LED green high voltage on high voltage on
电气连接 FCC 68 appliance connector, 8 poles, female FCC 68 appliance connector, 8 poles, female
传感器电缆 8 poles plus shielding 8 poles plus shielding
电缆长度 m ≤50 (8 x 0.14 mm2) ≤50 (8 x 0.14 mm2)
运行电压 kV ≤3.3 ≤3.3
运行电流 µA ≤500 ≤500
暴露于真空的材料 stainless steel, Al2O3, FPM75, Mo, Ni, Au, W stainless steel, Al2O3, Ag, Cu, Sn, Mo, Ni, Au, W
内部容积 cm³ ≈20 ≈20
重量    
DN 25 ISO-KF g ≈700 ≈730
DN 40 ISO-KF g ≈720 ≈750
DN 40 CF-F g ≈980 ≈1010
保护类别 IP 40 IP 40
标准    
CE 合规 EN 61000-6-2, EN 61000-6-3, EN 61010-1 EN 61000-6-2, EN 61000-6-3, EN 61010-1

1) 没有电子和磁遮蔽。

2) 必须根据传感器电缆的长度按比例增加电源的最低电压。

零件号

MPG400 FPM sealed
零件号 明细
351-010 MPG400 真空计
351-011 MPG400 DN 40 ISO-KF
351-012 MPG400 DN 40 CF-F
MPG401 metal-sealed
零件号 明细
351-020 MPG401 DN 25 ISO-KF
351-021 MPG401 DN 40 ISO-KF
351-022 MPG401 DN 40 CF-F
351-023 磁屏蔽

 

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