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首页 >> inficon真空计 >> 高精度真空计 >> CDG045D 电容式膜片真空计
CDG045D 电容式膜片真空计

CDG045D 电容式膜片真空计

SKY® CDG045D 0.05 ...1000Torr / mbar

INFICON SKY CDG045D 压力计是实现高精确总压测量与控制的理想之选。CDG045D
真空计温度控制在 45 °C，具有卓越的信号稳定性和可重复性。在 50 mTorr 至 1000 Torr
满刻度范围内均可使用，带有所有常用类型的法兰和现场总线接口，能够提供 0 至 10 V、不受气体类型限制的线性压力信号。INFICON
电容式压力计采用超纯氧化铝陶瓷隔膜，具有防腐蚀性。陶瓷传感器具有信号稳定性更佳、从大气恢复的速度更快、预热时间短和使用寿命长等诸多优势。INFICON CDG
压力传感器品质卓越，极具成本效益，适用于苛刻的真空应用。


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SKY® CDG045D 0.05 ...1000Torr / mbar

INFICON SKY CDG045D 压力计是实现高精确总压测量与控制的理想之选。CDG045D
真空计温度控制在 45 °C，具有卓越的信号稳定性和可重复性。在 50 mTorr 至 1000 Torr
满刻度范围内均可使用，带有所有常用类型的法兰和现场总线接口，能够提供 0 至 10 V、不受气体类型限制的线性压力信号。INFICON
电容式压力计采用超纯氧化铝陶瓷隔膜，具有防腐蚀性。陶瓷传感器具有信号稳定性更佳、从大气恢复的速度更快、预热时间短和使用寿命长等诸多优势。INFICON CDG
压力传感器品质卓越，极具成本效益，适用于苛刻的真空应用。


益处

  • 拥有成本更低，预热速度快 50%，节能，低功耗
  • 易于集成，各种满刻度、法兰和接口，标配两个设定点
  • 轻松一键归零或远程信号归零指令，可调零点偏移
  • 诊断端口便于快速服务与维护
  • 两年保修服务，先进的加热概念和真空计保护延长了使用寿命
  • 卓越的信号稳定性和可重复性，即使是最严苛的等离子应用，都无需长期执行重新校准
  • 合规性和标准：CE、EN、UL、SEMI、RoHS

典型应用

  • 蚀刻、CVD、PVD 及其他半导体生产过程
  • 化学和腐蚀性真空过程
  • 一般薄膜和真空过程
  • 作为基准仪器监控测试仪器是否符合国际标准
  • 符合传递标准，确保测量可追溯性

新闻

现在提供 EtherCAT 数字接口！





规格

类型 1000 Torr, 1100 mbar 500 ... 1 Torr / mbar 0.5 ... 0.05Torr / mbar
精度 (1) % of reading 0.15 0.15 0.15
温度效应      
零点 percent FS/°C 0.0025 0.0025 0.005
满量程 % of reading / °C 0.01 0.01 0.01
压力，最大 kPa (absolute) 400 260 130
分辨率 percent FS 0.003 0.003 0.003
最低读数 percent FS 0.01 0.01 0.01
建议的最低读数 percent FS 0.05 0.05 0.05
建议的最低控制压力 percent FS 0.5 0.5 0.5
温度      
运行（环境） °C +10 … +40 +10 … +40 +10 … +40
在法兰处烘烤 °C ≤110 ≤110 ≤110
贮存 °C –20 … +65 –20 … +65 –20 … +65
电源电压 +14 … +30 VDC or ±15 V (±5%) +14 … +30 VDC or ±15 V (±5%) +14 … +30 VDC or ±15 V (±5%)
功耗      
加热时 W ≤12 ≤12 ≤12
运行温度 W ≤8 ≤8 ≤8
输出信号（模拟） V (dc) 0 … +10 0 … +10 0 … +10
反应时间 (2) ms 30 30 130 / 30 (3)
保护等级 IP 40 IP 40 IP 40
标准      
CE 合规 EN 61000‑6‑2/-6-3, EN 61010 & RoHS EN 61000‑6‑2/-6-3, EN 61010 & RoHS EN 61000‑6‑2/-6-3, EN 61010 & RoHS
ETL 认证 UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1 UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1 UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1
SEMI 合规 SEMI S2 SEMI S2 SEMI S2
电气连接 D-sub, 15 pole, male D-sub, 15 pole, male D-sub, 15 pole, male
设定点      
设定点数量 2 (SP1,SP2) 2 (SP1,SP2) 2 (SP1,SP2)
继电器触点 V (dc)A (dc) ≤30 ≤30 ≤30
滞后 percent FS 1 1 1
诊断端口      
协议 RS232-C RS232-C RS232-C
读数 pressure, status, ID pressure, status, ID pressure, status, ID
设置 set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset
暴露于真空的材料 Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L (4)) Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L (4)) Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L (4))
内部容积      
内部容积 1/2'' 管 cm³ (in.³) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26)
内部容积 DN 16 ISO KF cm³ (in.³) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26)
内部容积 DN 16 CF-R cm³ (in.³) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26)
内部容积 8 VCR® cm³ (in.³) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26)
重量      
重量 1/2'' 管 g 837 837 837
重量 DN 16 ISO KF g 852 852 852
重量 DN 16 CF-R g 875 875 875
重量 8 VCR® g 897 897 897
EtherCAT      
协议 EtherCAT protocol specialized for EtherCAT protocol specialized for EtherCAT protocol specialized for EtherCAT
通讯标准 ETG.5003 Part 1 "Semiconductor Device Profile" ETG.5003 Part 2080 "Specific Device Profile: Vacuum Pressure Gauge" ETG.5003 Part 1 "Semiconductor Device Profile" ETG.5003 Part 2080 "Specific Device Profile: Vacuum Pressure Gauge" ETG.5003 Part 1 "Semiconductor Device Profile" ETG.5003 Part 2080 "Specific Device Profile: Vacuum Pressure Gauge"
节点地址 Explicit Device Identification Explicit Device Identification Explicit Device Identification
物理层 100BASE-Tx (IEEE 802.3) 100BASE-Tx (IEEE 802.3) 100BASE-Tx (IEEE 802.3)
数字功能读取 pressure, status, ID pressure, status, ID pressure, status, ID
数字功能设置 set points, filter, zero adjust, reset, DC offset set points, filter, zero adjust, reset, DC offset set points, filter, zero adjust, reset, DC offset
过程数据 Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping
邮箱 (CoE) SDO requests, responses and information SDO requests, responses and information SDO requests, responses and information
EtherCAT 连接器 RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT
电缆 shielded Ethernet CAT5e or higher shielded Ethernet CAT5e or higher shielded Ethernet CAT5e or higher
电缆长度 m (ft.) ≤100 (330) ≤100 (330) ≤100 (330)
DeviceNet™      
协议 DeviceNet™, group 2 slave only DeviceNet™, group 2 slave only DeviceNet™, group 2 slave only
数据率 kBaud 125, 250, 500 by switch or network programmable 125, 250, 500 by switch or network programmable 125, 250, 500 by switch or network programmable
电缆长度 125 kbps m (ft.) 500 (1650) 500 (1650) 500 (1650)
电缆长度 250 kbps m (ft.) 250 (825) 250 (825) 250 (825)
电缆长度 500 kbps m (ft.) 100 (330) 100 (330) 100 (330)
MAC ID address 00 - 63 by switch or network programmable address 00 - 63 by switch or network programmable address 00 - 63 by switch or network programmable
数字功能读取 pressure, status, ID pressure, status, ID pressure, status, ID
数字功能设置 set points, filter, zero adjust, reset, DC offset set points, filter, zero adjust, reset, DC offset set points, filter, zero adjust, reset, DC offset
技术规格 DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile" (ODVA) DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile" (ODVA) DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile" (ODVA)
设备类型 ''VG'' vacuum gauge ''VG'' vacuum gauge ''VG'' vacuum gauge
I / O 从属传讯 polling only polling only polling only
真空计 D 型连接器的电源电压 +14 … +30 VDC or ±15 V / ≤12 W +14 … +30 VDC or ±15 V / ≤12 W +14 … +30 VDC or ±15 V / ≤12 W
为微型连接器上的 DeviceNet 收发器提供电压 24 V nom / <2 W (11 … 25 V) 24 V nom / <2 W (11 … 25 V) 24 V nom / <2 W (11 … 25 V)
DeviceNet™ 连接器 microstyle, 5 pin, male microstyle, 5 pin, male microstyle, 5 pin, male
CDG（模拟输出、CDG 电源电压、设定点）连接器 D-sub, 15 pin, male D-sub, 15 pin, male D-sub, 15 pin, male
Profibus DP      
波特率 kBaudMbaud 9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500 9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500 9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500
地址 address 00 - 125 by switch or network programmable address 00 - 125 by switch or network programmable address 00 - 125 by switch or network programmable
数字功能读取 pressure, status, ID pressure, status, ID pressure, status, ID
数字功能设置 set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset
Profibus DP 连接器 D-sub, 9 pin, female D-sub, 9 pin, female D-sub, 9 pin, female
CDG（模拟输出、电源电压、设定点）连接器 D-sub, 15 pin, male D-sub, 15 pin, male D-sub, 15 pin, male

(1) 非线性，迟滞，在 25 °C 环境工作温度中的可重复性，2 小时工作后无温度影响。

(2) 提高 10 … 90 % FS  

(3) 仅适用于压力控制型

(4) 18% Cr、10% Ni、3% Mo、69% Fe


 

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